等離子廢氣處理低溫催化氧化法：等離子體是物質(zhì)存在的除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種狀態(tài)，具有宏觀度內(nèi)的電中性與高導(dǎo)電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結(jié)果，產(chǎn)生大量的強氧化性自由基O·、OH·、HO2 和氧化性很強的O3；有機物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子健斷裂而形成小碎片基團或原子；O·、OH·、HO2、O3等與激發(fā)原子、有機物分子、基團、自由基等反應(yīng)，最終使有機物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。
　　優(yōu)點：廣泛適用性，適合于處理低濃度（〈1～1000ppm〉）、劇毒劇臭的有害氣體，彌補了其他技術(shù)無法處理的空白。以及操作簡單。
　　缺點：單獨的低溫等離子體技術(shù)在處理有害氣體時還是有其欠缺的地方，如不能完全徹底地把有害氣體轉(zhuǎn)化為無害氣體，副產(chǎn)物較多；且在氧等離子體下產(chǎn)生大量的臭氧；能耗較高；脫除效率較低等。